gravure

On connaít des procédés isotropes de gravure par plasma du SiGe qui présentent une sélectivité supérieure à 30 entre la gravure du SiGe et la gravure du silicium et de l'oxyde de silicium.

Isotropic SiGe plasma etch methods are known, which exhibit a selectivity greater than 30 between the SiGe etching and the silicon and silicon oxide etching.

Pour chaque phase de gravure, on utilise un gaz de gravure réactif à partir du quel on forme un plasma

Each etching phase comprises providing a reactive etching gas and forming a plasma from the reactive etching gas

• En outre, ils teintent la vitre et y créent des motifs par gravure à l’eau-forte ou gravure au sable.

• Glaziers also tint glass and create patterns by etching or sandblasting.

Cette gravure est par exemple une gravure ionique réactive utilisant comme décrit dans le document Electrochemical cité ci-dessus.

The etching is e.g. a reactive ionic etching using as the etching agent a mixture of oxygen and CHF.sub.3, as described in the aforementioned Electrochemical document.

côté gravure

engraving side

GRAVURE A SEC

DRY ETCHING

gravure laser

laser engraving

la gla gravure

the burning ice