etching

Other etching solutions, e.g. dilute hydrochlorid acid, may be used when performing wet etching.

D'autres solutions d'attaque telle que l'acide chlorhydrique dilué peuvent être utilisées pour faire de la gravure par voie humide.

disclosed is an etching method which enables to efficiently dry etch silicon oxide films of various kinds

la présente invention concerne un procédé de gravure qui permet de graver à sec des pellicules d'oxyde de silicium de types divers de manière efficace

Use of a resin etching solution comprising a hydroxyalkylamine, an alkali metal compound and water, for etching a polyimide film.

, Utilisation d'une solution de décapage de résine comprenant une hydroxyalkylamine, un composé de métal alcalin et de l'eau, pour décaper un film de polyimide.

wet etching

Gravure humide

ion etching

attaque ionique

etching bath

bain d'attaque

ETCHING METHOD

PROCEDE DE GRAVURE

severe etching

eau-forte sévère