to sputter

The process of Claim 1 wherein rf magnetron sputtering is used to sputter said oxide film.

Le procédé de la revendication 1, dans lequel une pulvérisation cathodique à magnétron HF est utilisée pour déposer ladite couche d'oxyde.

The sputtering targets can be utilized to sputter deposit a thin film; and such thin film can be utilized as a copper barrier layer

Les cibles de pulvérisation peuvent servir à déposer un film mince, lequel film peut faire office de couche d'arrêt à la diffusion du cuivre

to sputter

à avoir des ratés